SMART COATER

仕様
一般名: 試料コーター
メーカー名: JEOL
型番: DII-29010SCTR
注意事項:
?30秒ごとに被膜を確認し、必要があれば追加してください。
?2分より多くコートをしないでください。
?真空部品なので、ベルジャー(ガラス管)や試料台を触るときは手袋を着用してください。
?使用後ベルジャーを乾拭きしてください。
?ベルジャーはガラス製のため、落とすと割れます。 取り扱いには気を付けてください。
使用真空度 | ~4Pa |
試料室サイズ | 内径86㎜×深さ100㎜ |
ターゲット電極 | 80Pt - 20Pd、金 |
ターゲットサイズ | 直径49.5㎜×厚さ0.1㎜ |
ターゲット電極 | 直径20㎜ |
試料台サイズ | 直径70㎜ |
試料台高さ | ターゲットに対して10㎜~50㎜まで連続可変 |
スパッタ時間 | 0.5min、1min、2min固定 |
コーティング膜厚の目安(金) | 1minで5nm、2minで10nm |