SMART COATER

SmartCoater-300x225

仕様

一般名: 試料コーター
メーカー名: JEOL
型番: DII-29010SCTR
注意事項:
 ?30秒ごとに被膜を確認し、必要があれば追加してください。
 ?2分より多くコートをしないでください。
 ?真空部品なので、ベルジャー(ガラス管)や試料台を触るときは手袋を着用してください。
 ?使用後ベルジャーを乾拭きしてください。
 ?ベルジャーはガラス製のため、落とすと割れます。 取り扱いには気を付けてください。

 

使用真空度 ~4Pa
試料室サイズ 内径86㎜×深さ100㎜
ターゲット電極 80Pt - 20Pd、金
ターゲットサイズ 直径49.5㎜×厚さ0.1㎜
ターゲット電極 直径20㎜
試料台サイズ 直径70㎜
試料台高さ ターゲットに対して10㎜~50㎜まで連続可変
スパッタ時間 0.5min、1min、2min固定
コーティング膜厚の目安(金) 1minで5nm、2minで10nm