LTNIP-5000
仕様
一般名： ナノインプリント装置
メーカー名： リソテックジャパン株式会社 Litho Tech Japan Co.
型番： LTNIP-5000
装置概要：
| ウェハサイズ | φ6インチ Si基板またはガラス |
| モールドサイズ | 御社支給モールド型40 mm角石英基板 |
| ウエハモールドセット | 専用の治具にセットしプレスおよび剥離を行う |
| プレス圧 | 最大10KN以下 ボールネジ＋サーボモーター駆動 |
| 加熱温度 | 200℃以下 |
| ウエハー冷却 | 装置内ヒート部を水冷クーリングユニットにて冷却 |
| 真空チャンバー真空度 | 高速ロータリーポンプにより50kPa以下 |
| プリント方式 | 熱硬化型、光硬化型両方に対応可能 |
| 露光ユニット | 露光量自動制御機構付、光源：ハロゲンランプ |
| UV電源 | EXECURE4000-D |